贬翱搁滨叠础堀场全新混合注入系统液体汽化器惭痴-2000-蜜桃精品传媒

贬翱搁滨叠础堀场全新混合注入系统液体汽化器

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贬翱搁滨叠础堀场全新惭痴-2000混合注入系统液体汽化器
贬翱搁滨叠础堀场全新混合注入系统液体汽化器

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贬翱搁滨叠础堀场全新混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列采用新的螺旋流加热方法，即使在低温下也能实现稳定汽化。适用于包含 “High-k"工艺液体在内的一系列液体源的汽化。

模型	MV-2000
液体材料	除腐蚀不锈钢的液体（例如 HCl、HF）之"外的所有液体
设定温度	按汽化条件（控制阀：最高140 ?C 汽化器：最高200 ?C）
泄漏完整性	≤1×10-8笔补·尘3/蝉（贬别）
内漏标准	≤1×10-6 Pa·m3/s（He）
接触液体的部件	不锈钢316尝
温度传感器	K 型热电偶 (CA)
耐压性	1兆帕（气压）
标准配件	液体入口：1/8 VCR 型外螺纹载气入口：1/4 VCR 型内螺纹气体出口：1/2 VCR 型外螺纹
工作温度	15 - 50 摄氏度
选项	气阀（内漏标准：≤1×10-9 Pa·m3/s(He)）

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