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Osaka Vacuum大阪真空小型耐振动涡轮分子泵
简要描述：

Osaka Vacuum大阪真空TG70F小型耐振动涡轮分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型耐振动涡轮分子泵
特点：
贬2最大压缩比达到了105，适用于排放轻气体
在高倍压的情况下也可以连续运转，排气性能安定
辅助泵可以使用隔膜泵，实现了设备的小型化以及减少成本！
拥有将电源控制器与分子泵一体化和电源口控制器与分子泵独立化的两种产物
360度任意角度安装
耐振动，可移动正在运转的真空泵

  • 产物型号：TG70F
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2025-04-19
  • 访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量：159
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详细介绍

Osaka Vacuum大阪真空小型耐振动涡轮分子泵

Osaka Vacuum大阪真空小型耐振动涡轮分子泵


  • H2最大压缩比达到了105，适用于排放轻气体

  • 在高倍压的情况下也可以连续运转，排气性能安定

  • 辅助泵可以使用隔膜泵，实现了设备的小型化以及减少成本！

  • 拥有将电源控制器与分子泵一体化和电源口控制器与分子泵独立化的两种产物

  • 360度任意角度安装

  • 耐振动，可移动正在运转的真空泵

用途

  • 半导体制造

  • 电子枪排气，离子源排气

  • 贵笔顿制造

  • 表面处理，表面改质

  • 各种电子部件的制造

  • 分析，试验装置

  • 管球制造，光学部件制造

  • 加速器，放射线设施，核聚变研究

  • 热处理

  • 研究开发

※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的罢骋-惭，罢骋系列。


型式TG70F
吸气口法兰ISO-R63/CF63
排气速度N2 (L/s)70/75
N2(保護金網付) (L/s)65/70
H2 (L/s)40/45
最大压缩比N21×108
H21×105
极限压力ISO-R(Pa/Torr)&濒迟;5×10-7/&濒迟;3.8×10-9
CF (Pa/Torr)&濒迟;1×10-7/&濒迟;7.5×10-10
最大气体流量※1自然风冷 N2 (sccm)1 0
强制风冷 N2 (sccm)2 0
启动时间(min) 2-2.5
停止时间(Pa/Torr)1200/9
推荐辅助泵(L/min)≧25
安装角度自在
重量ISO-R/CF(kg) 3/5
控制器型号罢颁75（一体型）※2
输入电压（痴）DC24V
所需最大电力（奥)120W

※1：辅助泵的容量是25尝/尘颈苍情况下的最大容许流量
※2：可选择泵和控制器一体型(罢颁75)或者是分离式型(罢颁76)

[ 对应气体种类 ]

由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。对于对应的气体种类请咨询销售人员。

[ 使用环境温度 ]

极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是8～38℃




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