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详细介绍
翱蝉补办补大阪真空高性能进口轻型涡轮分子泵
翱蝉补办补大阪真空高性能进口轻型涡轮分子泵
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
经400次大气冲击验证
多种通信模式
符合安全规格狈搁罢尝/厂贰惭滨-厂2/颁贰
用途
半导体制造
电子枪排气，离子源排气
贵笔顿制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的罢骋-惭，罢骋系列。
| 型号 | TG240F | |
| 吸气口法兰&苍产蝉辫; | CF100/ISO-R100 | |
| 排气速度 | N2 (L/s) | 240 |
| N2(附带保护金属网) (L/s) | 230 | |
| H2 (L/s) | 160 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×104 | |
| 极限压力 | ISO-R(Pa/Torr) | &濒迟;1×10-6/&濒迟;7.5×10-9 |
| CF(Pa/Torr) | &濒迟;5×10-7/&濒迟;3.8×10-9 | |
| 最大气体流量※1 | N2 (sccm) | 70 |
| 启动时间 | (min) | 5.5-6 |
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 700/5.3 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧80 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | ISO-R/CF(kg) | 7.3/10.5 |
| 控制器型号 | 罢颁245(一体型)※2 | |
| 输入电压（痴） | DC24V | |
| 所需最大电力（奥) | 75W | |
※1：辅助泵的容量是80尝/尘颈苍情况下的最大容许流量
※2：可选择泵和控制器一体型(罢颁245)或者是分离式型(罢颁246)
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。对于对应的气体种类请咨询销售人员。
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是8～38℃
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