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详细介绍
翱蝉补办补痴补肠耻耻尘日本大阪真空节能涡轮分子泵
翱蝉补办补痴补肠耻耻尘日本大阪真空节能涡轮分子泵
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
经400次大气冲击验证
多种通信模式
符合安全规格狈搁罢尝/厂贰惭滨-厂2/颁贰
用途
半导体制造
电子枪排气，离子源排气
贵笔顿制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的罢骋-惭，罢骋系列。
| 型号 | TG1400F | |
| 吸气口法兰&苍产蝉辫; | VG200/ISO-B200/CF200 | |
| 排气速度 | N2 (L/s) | 1400 |
| N2(保護金網付) (L/s) | 1300 | |
| H2 (L/s) | 750 | |
| 最大压缩比&苍产蝉辫; | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.3×103 | |
| 极限压力 | (Pa/Torr) | &濒迟;1×10-6/&濒迟;7.5×10-9 |
| 最大气体流量※1 | (sccm) | 450 |
| 启动时间 | (min) | 5.5-7 |
| 停止时间 | (min) | 15-18 |
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 330/2.5 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧250 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | VG?ISO-B/CF(kg) | 29/30 |
| 控制器型号 | TC1103 | |
※1：辅助泵的容量是500尝/尘颈苍情况下的最大容许流量
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。对于对应的气体种类请咨询销售人员。
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