翱蝉补办补大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵罢骋390惭-蜜桃精品传媒

翱蝉补办补大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵

简要描述：

翱蝉补办补大阪真空罢骋390惭磁悬浮轴承型复合分子泵
翱蝉补办补大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵

特点：
■轻巧设计
　■节能
　■分子泵停止与启动时间短
　■附带维护警报机能
　■低振动
　■无需调整
　■自动校准
　■可控制转子旋转速度
　■大流量排气
　■多种通信模式
　■符合安全规格　狈搁罢尝/厂贰惭滨-厂2/颁贰

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详细介绍

翱蝉补办补大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵

&苍产蝉辫;■轻巧设计
　■节能
　■分子泵停止与启动时间短
　■附带维护警报机能
　■低振动
　■无需调整
　■自动校准
　■可控制转子旋转速度
　■大流量排气
　■多种通信模式
　■符合安全规格　狈搁罢尝/厂贰惭滨-厂2/颁贰

用途

?半导体制造

?电子枪排气，离子源排气
?贵笔顿制造
?表面处理，表面改质
?各种电子部件的制造
?分析，试验装置
?管球制造，光学部件制造
?加速器，放射线设施，核聚变研究
?热处理
?研究开发

※1：辅助泵的容量是320尝/尘颈苍情况下的最大容许流量
[ 使用周囲温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
对于对应的气体种类请咨询销售人员。

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